ANSYS. Моделирование МЭМС. Наложение сетки, граничные условия (на примере емкостного акселерометра)
учебное электронное пособие
Пособие предназначено для студентов старших курсов направления «Электроника и наноэлектроника», занимающихся моделированием МЭМС в ходе изучения дисциплины «Новые типы полупроводниковых приборов». В пособии рассмотрены структура емкостного акселеметра, методы наложения расчетной сетки, способы задания граничных условий.
Только зарегистрированные пользователи могут оставлять комментарии. Пожалуйста, зарегистрируйтесь.
Описание документа
Логинов Д. В. ANSYS. Моделирование МЭМС. Наложение сетки, граничные условия (на примере емкостного акселерометра) : учебное электронное пособие / Д. В. Логинов ; М-во образования и науки Рос. Федерации, Федер. гос. бюджет. образоват. учреждение высш. образования Петрозав. гос. ун-т. — Петрозаводск : Изд-во ПетрГУ, 2017. — 25 с. — URL: http://library2.petrsu.ru/books/29481 (дата обращения: 19.09.2024)
Издатель: Издательство ПетрГУ
Copyright: Петрозаводский государственный университет
Место издания: Петрозаводск
Год издания: 2017