Яковлева Наталья Михайловна, Шульга Алиса Михайловна, Степанова Кристина Вячеславовна, Кокатев Александр Николаевич
Наноструктурированные анодно-оксидные пленки на ниобии и тантале
электронное учебное пособие для обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры «Электроника и наноэлектроника» и бакалавриата «Педагогическое образование»
Пособие знакомит с особенностями получения наноструктурированных оксидных пленок методом электрохимического анодирования ниобия и тантала. Кратко рассмотрены рост и структура анодных оксидных пленок барьерного типа, формирование как самоорганизованных нанопористых / нанотрубчатых оксидов ниобия и тантала, так и кристаллических микроконусных оксидных пленок. Предназначено для студентов, аспирантов и инженеров, специализирующихся в исследованиях наноструктурированных материалов.